การศึกษาสมบัติเทอร์โมอิเล็กทริกของฟิล์มบาง Bi2Te3/Sb2Te3 ผ่านกระบวนการแมกนีตรอนสปัตเตอริ่งแบบร่วม : Investigation on Thermoelectric Properties of Bi2Te3/Sb2Te3 Thin Film through Co-magnetron Sputtering Process

1) To prepare the Bi2Te3/Sb2Te3 thin films by co-magnetron sputtering process. 2) To study characterization and thermoelectric properties of Bi2Te3/Sb2Te3 thin films prepared. 3) To fabricate thin film thermoelectric module by using Bi2Te3/Sb2Te3 thin films optimized.